3M™ NanoSHIELD™ ポリプロピレン中空糸膜フィルターHFPカートリッジ

  • 従来品と比較し膜の厚みが18~116%厚いため、ゲル状物質や凝集物の除去能力に優れています。
  • フィルター前後の圧力差が少ないため、マイクロバブルの発生を抑制できます。
  • フィルターコアをなくし、フィルター内のホールドアップ量を削減でき、高価な液体のロスや廃液を削減できます。
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フォトレジスト原料や高純度薬品のろ過に適したフィルターカートリッジです。

  • 従来品と比較し膜の厚みが18~116%厚いため、ゲル状物質や凝集物の除去能力に優れています。
  • フィルター前後の圧力差が少ないため、マイクロバブルの発生を抑制できます。
  • フィルターコアをなくし、フィルター内のホールドアップ量を削減でき、高価な液体のロスや廃液を削減できます。
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推奨用途

  • フォトレジスト
  • ARC・BARC・TARC
  • エッチング液/剥離剤
  • ポリイミド
  • アルコール類
  • アルカリ類
  • 現像液
  • 各種溶媒
仕様
ブランド
NanoSHIELD™