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3M™ LifeASSURE™ ナイロンメンブレンフィルターカートリッジ PSNシリーズ

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優れたゲル状異物除去能力を持ち、短時間での微粒子除去が可能です。

Advanced Pleat Technology構造により、ろ材表面全体を有効ろ過面積とすることが可能です。

ろ材に親水性ナイロン66メンブレンを使用しており、アルコールによる親水化処理が不要です。

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詳細

特長
  • 優れたゲル状異物除去能力を持ち、短時間での微粒子除去が可能です。
  • Advanced Pleat Technology構造により、ろ材表面全体を有効ろ過面積とすることが可能です。
  • ろ材に親水性ナイロン66メンブレンを使用しており、アルコールによる親水化処理が不要です。
  • アウトガスの発生した液でも親水性が損なわれないため、マイクロバブルの発生を低減できます。

フォトレジストやその他ファインケミカルのろ過用のメンブレンフィルターカートリッジです。

推奨アプリケーション
  • 各種フォトレジスト
  • アルコール
  • アルカリ溶液
  • 現像液
  • エッチング液、剥離液
  • ソルベント

仕様

参考資料