3M™ トライザクト™ ダイヤモンドタイルは各種ウェハー、ガラス・石英などの平面基板のラップ研磨向けに開発されました。表面には精密且つ規則正しい構造体を持ち、構造体の中には、3M独自のダイヤモンド特殊砥粒が樹脂の中に封入されています。アルミナやSiCなどのスラリーと金属定盤、ダイヤモンドペレットなどの固定砥粒プロセスの代替が可能です。高い研磨力と加工変質層の低減を両立することで、お客様の工程コストの削減に貢献し、多くのお客様に使用されている信頼性の高い製品です。
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アタッチメントタイプ
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PSA Back
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グレード(ミクロン)
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4 μm, 9 μm
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直径
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1152 mm, 710 mm
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砥粒
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ダイヤモンド
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製品シリーズ
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677XA
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製品形状
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ディスク
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