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3M™ 金属イオン除去フィルター MIPシリーズ APPシリーズ

Products
  • 3M特殊粉体成型テクノロジーを用いてキレート樹脂とポリエチレン支持体を強固なブロック状のろ材にしたデプスフィルターカートリッジです。
  • 薬液中の金属イオンを50ppt以下レベルまで低減し、リソグラフィプロセスで使用される PGMEAなどの溶剤や、BARCなどの高純度ポリマー溶液からワンパスでも効果的に金属イオンを低減します。
  • メンブレンタイプのイオン交換膜フィルター と比較し数倍のイオン交換容量を持つ安定した金属除去性能を発揮します。
  • イオン交換樹脂と比較して金属溶出が少なく、前処理時間の短縮や作業の簡易化を実現します。
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昨今の電子業界での より厳しい金属低減要求に貢献するために開発されたデプスフィルターカートリッジです。

  • 3M特殊粉体成型テクノロジーを用いてキレート樹脂とポリエチレン支持体を強固なブロック状のろ材にしたデプスフィルターカートリッジです。
  • 薬液中の金属イオンを50ppt以下レベルまで低減し、リソグラフィプロセスで使用される PGMEAなどの溶剤や、BARCなどの高純度ポリマー溶液からワンパスでも効果的に金属イオンを低減します。
  • メンブレンタイプのイオン交換膜フィルター と比較し数倍のイオン交換容量を持つ安定した金属除去性能を発揮します。
  • イオン交換樹脂と比較して金属溶出が少なく、前処理時間の短縮や作業の簡易化を実現します。
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仕様
ろ過材質
キレート樹脂
サイズ 長さ
25.4 cm, 5.08 cm, 508 mm
フィルタータイプ
サーフェス
最大許容差圧
0.28 Mpa
直径
25.4 cm, 47 mm
製品シリーズ
APP