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3M™ 金属イオン除去フィルター MIPシリーズ SCPシリーズ

Products
  • 3M特殊粉体成型テクノロジーを用いて強酸性陽イオン交換樹脂とポリエチレン支持体を強固なブロック状のろ材にしたデプスフィルターカートリッジです。
  • 薬液中の金属イオンを50ppt以下レベルまで低減し、リソグラフィプロセスで使用される PGMEAなどの溶剤や、BARCなどの高純度ポリマー溶液からワンパスでも効果的に金属イオンを低減します。
  • メンブレンタイプのイオン交換膜フィルター と比較し数倍のイオン交換容量を持つ安定した金属除去性能を発揮します。
  • イオン交換樹脂と比較して金属溶出が少なく、前処理時間の短縮や作業の簡易化を実現します。
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サイズ 長さ
Overall_Length_Metric
O-リング/ガスケット材質
Gasket_O_ring_Material
直径
Overall_Diameter_Metric
 サイズ 長さ, O-リング/ガスケット材質  直径
シリーズ一覧
終了
詳細

昨今の電子業界での より厳しい金属低減要求に貢献するために開発されたデプスフィルターカートリッジです。

  • 3M特殊粉体成型テクノロジーを用いて強酸性陽イオン交換樹脂とポリエチレン支持体を強固なブロック状のろ材にしたデプスフィルターカートリッジです。
  • 薬液中の金属イオンを50ppt以下レベルまで低減し、リソグラフィプロセスで使用される PGMEAなどの溶剤や、BARCなどの高純度ポリマー溶液からワンパスでも効果的に金属イオンを低減します。
  • メンブレンタイプのイオン交換膜フィルター と比較し数倍のイオン交換容量を持つ安定した金属除去性能を発揮します。
  • イオン交換樹脂と比較して金属溶出が少なく、前処理時間の短縮や作業の簡易化を実現します。
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仕様
O-リング/ガスケット材質
FEP被覆フッ素ゴム, FFKM
サイズ 長さ
0.5 mm, 25.4 cm, 5.08 cm, 508 mm
フィルタータイプ
サーフェス
接続形状
222 O-リング(フィン無し)
直径
47 mm, 61.011 mm
製品シリーズ
SCP