3M™ 金属イオン除去フィルター MIPシリーズ SCPシリーズ

特長

• ３M特殊粉体成型テクノロジーを用いて強酸性陽イオン交換樹脂とポリエチレン支持体を強固なブロック状のろ材にしたデプスフィルターカートリッジです。
• 薬液中の金属イオンを50ppt以下レベルまで低減し、リソグラフィプロセスで使用される PGMEAなどの溶剤や、BARCなどの高純度ポリマー溶液からワンパスでも効果的に金属イオンを低減します。
• メンブレンタイプのイオン交換膜フィルター と比較し数倍のイオン交換容量を持つ安定した金属除去性能を発揮します。
• イオン交換樹脂と比較して金属溶出が少なく、前処理時間の短縮や作業の簡易化を実現します。