1. 日本
  2. All 3M Products
  3. 電子材料と部品
  4. CMP 材料
  5. CMP パッドコンディショナー
  6. 3M™ トライザクト™ パッドコンディショナー B5, CMP, 4.25 in, 1 個/箱

3M™ トライザクト™ パッドコンディショナー B5, CMP, 4.25 in, 1 個/箱

  • 高精細表面テクノロジー(Mr)に加え、3Mの基盤技術を駆使したパッドコンディショナーです。
  • CMP工程におけるバラつきを最小化する
  • マイクロスクラッチの解消
  • CMP工程のCoC低減を実現する
 さらに表示
詳細はこちら
詳細

3M独自の高精細表面テクノロジーなどの技術を応用した、アドバンスノード向けパッドコンディショナーです。

  • 高精細表面テクノロジー(Mr)に加え、3Mの基盤技術を駆使したパッドコンディショナーです。
  • CMP工程におけるバラつきを最小化する
  • マイクロスクラッチの解消
  • CMP工程のCoC低減を実現する
  • メタルコンタミネーションフリー
  • 世界の大手半導体顧客での販売実績に基づく信頼性。
仕様
キャリアフォーム
ディスク
キャリア径
107.95 mm
キャリア材料
SUS304
用途
CMP
砥粒
CVD Coated Ceramic
製品シリーズ
B5-M990
製品タイプ
Diamond Pad Conditioner