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優れた脱気性能を持ち、ppbレベルの濃度を実現します。
独自の内部構造により、低圧損を実現しながら小型化を実現しました。
半導体向け超純粋精製等で長期に渡り納入の実績があります。
気体を液体へ溶解させたり、または液体から期待を脱気させることが出来る中空糸膜を利用したモジュールです。