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UV硬化型液体接着剤を使用してウェーハを支持基板にマウントするため凹凸吸収性に優れ、極薄研削が可能。
ウエハー研削後、サポートガラスを除去したのち、ピールテープを用いてLC-3200をウエハー表面から剥離できます。
3M™ 紫外線硬化型接着剤 LC-3200は、WSS用のシリコンウエハーとサポートガラスを仮固定する接着剤です。
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