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3M™ トライザクト™ コンポジットスラリー TCS DE-AB-5000

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3M™ トライザクト™ コンポジットスラリーとポリッシングパッドは、SiCやGaN、アルミナセラミックスやサファイヤといった難削材料を効果的に研磨するために開発された研磨ソリューションです。3M独自の特殊ダイヤモンド砥粒を使ったスラリーと、独特の表面パターンを持った硬質な樹脂パッドの組み合わせにより、高い研磨速度を実現しました。難削材料の研磨として、ダイヤモンドスラリーと錫や銅定盤のプロセスの代替として使用することが可能です。

推奨アプリケーション
  • 難削材料のラッピング研磨
  • SiCウェハー
  • GaNウェハー
  • 酸化ガリウムウェハー
  • 多結晶セラミック
  • サファイアウェハー
  • 窒化アルミニウムウェハー

仕様

参考資料

3M™ トライザクト™ コンポジットスラリーと3M™ トライザクト™ ポリッシングパッドは別売りです。