3M™ トライザクト™ パッドコンディショナ― Tシリーズ
- 3M ID B5005469002
3M™ トライザクト™ パッドコンディショナー Tシリーズ
更なる一貫性の向上と長寿命化、メタルフリーなCMPパッドコンディショナーのご提供を目指して、2023年に3M™ トライザクト™ パッドコンディショナー Tシリーズが発売されました。3M™ トライザクト™ パッドコンディショナー Tシリーズは、表面状態を最適化して耐摩耗性を改善し、より長期間安定したドレス性能を発揮します。
詳細
特長
- 3Mのマイクロレプリケーションテクノロジーによる高い精度
- 当社従来品に比べて長い製品ライフと安定した研磨レート
- 高いカットレートを持ち、耐久性の向上とトータルコストの削減に貢献
- 大きなサイズのCVDダイヤモンドにより耐摩耗性を向上
- 新しいCVDダイヤモンドコーティング技術による改良
3M™ トライザクト™ パッドコンディショナー Tシリーズは、半導体CMP（化学機械研磨）プロセスでの精度や一貫性、信頼性の向上に貢献します。新たな3MのCVDダイヤモンドコーティング技術は、半導体先端ノード製造向けCMPプロセスでのより厳しいご要求にもお応えします。3M™ トライザクト™ パッドコンディショナーは、当社従来のダイヤモンド砥粒を使用したコンディショナーと比較して、マイクロスクラッチやマクロスクラッチなどのディフェクトの低減が期待されます。
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ライフタイムで一貫したパフォーマンス -
メタルフリー表面 -
カットレートの維持 -
歩留まりの向上
カットレートの維持
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従来のCMPパッドコンディショナーパッドコンディショナーが摩耗すると、摩擦係数が急激に低下し、パッドのカットレートが低下する。
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3M™ トライザクト™ パッドコンディショナー Tシリーズ3M™ トライザクト™ パッドコンディショナー Tシリーズは、従来の3M™ トライザクト™ パッドコンディショナーが持つ様々な3次元構造体と、新しいダイヤモンドコーティングテクノロジーを組み合わせています。粗いダイヤモンドコーティングは摩擦係数が高く、従来品と比較してカットレートの減衰が最大4倍程度抑えられます。
仕様
参考資料
Faq
3M™ トライザクト™ パッドコンディショナー Tシリーズは、高精細表面テクノロジーで作られたセラミックス構造体に薄いダイヤモンド層がコーティングされています。表面がメタルフリーで金属汚染に敏感な先端ノードプロセスに適しています。
CMPパッドコンディショナーの選択には、CMPパッド、ウェハー、スラリーの最適な組み合わせを確認するためのテストが必要です。当社の技術チームは、W、Cu、ポリシリコン、STIなどのプロセスに関する代表的なテクニカルデータをご用意しておりますので、お問い合わせください。
3M™ トライザクト™ パッドコンディショナー Tシリーズは、従来の3M™ トライザクト™ パッドコンディショナーが持つ様々な3次元構造体と、新しいダイヤモンドコーティングテクノロジーを組み合わせており、より長期間安定したドレス性能を発揮します。
ぜひお問い合わせフォームよりお問い合わせください。担当窓口より入手方法をご案内いたします。
