3M™ フレキシブルパッドコンディショナー
- 3M ID B5005541000
明日に向けた最適化
3M™ フレキシブルパッドコンディショナーのブラシは、ご使用されているCMPパッドの硬度と構造に合わせて調整可能。一般的なパッドやプロセスとの互換性があり、幅広いオプションをご用意しております。
詳細
特長
- 長寿命、低デフェクトのクリーニング向けCMPパッドコンディショナー
- ブリストルのデザインや材料は、パッドの硬さと構造に合わせてカスタマイズできます。
- パッドライフを通して安定した研磨レートと性能
- 一体型構造で作られているため、ディスク間の形状は非常に一貫性が高く、また実質的なブリストルのロスがありません。
- ポリマー材料のディスク表面で、金属コンタミのリスクを軽減
- 効率的なCMPパッドクリーニングとスラリー分散
- 平均的なパッドデブリのサイズはダイヤモンドCMPパッドコンディショナーと比較して、5～10分の1であり、ディフェクトパフォーマンスの向上に役立ちます。
- 従来のCMPパッドだけでなく、多孔質および低弾性率のCMPパッドにも非常に効果的です。
- 3M™ CMPパッドおよび3M™ CMPパッドコンディショナーコーティングとも使用可能です。
3M™ フレキシブルパッドコンディショナーは、CMPパッドのコンディショニングとテクスチャリングにおける特有の課題を解決する革新的なソリューションです。このソリューションにより、3Mはダイヤモンドパッドコンディショナーの素早いパッドブレークインと強力なコンディショニング性能に、ブラシの効果的なデフェクト除去性能を融合させました。耐久性のあるポリマーで一体型構造に作られたフレキシブルパッドコンディショナーは、従来のダイヤモンドパッドコンディショニングの限界を超え、調整可能な設計、長寿命、そしてデフェクトの低減を特徴とする、新たなレベルのカスタマイズと性能を実現します。
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効果的なパッドクリーニング
3M™ フレキシブルパッドコンディショナーは、強力なパッドコンディショニングに加え、CMPパッドのクリーニングにも非常に効果的です。ブリストルの形状や配置は非常に均一にコントロールされているため、従来のブラシと比較して、セリアスラリーやシリカカチオンスラリー、その他のクリーニングが難しいスラリーやデブリがパッドに付着するのを最小限に抑えることができます。また、従来品よりも水洗いしやすく、丈夫なポリマーの一体型構造により、ブリストルのロスをほぼゼロに抑えます。
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ブリストルの先端の数を一定にコントロール
高解像度の画像解析により、ほぼすべてのブリストル先端（赤で表示）がパッド表面に接触することが示されています。ディスクのライフタイムまで、非常に安定したコンディショニング性能を実現します。さらに、厳密に管理された製造プロセスにより、ディスク間でのブリストル先端のばらつきを最小限に抑えることができます。
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仕様
Faq
主要な性能特性の多くはカスタマイズ可能です。例えば、以下の通りです。
• ブリストル先端の直径
• ブリストルの長さ
• ブリストルの直径
• ブリストルの硬さ（幅広い範囲でカスタマイズ可能）
• キャリア素材（ステンレスまたはセラミック）
