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3M™ Light-To-Heat-Conversion Release Coating, 18 kg, 1 缶/箱

  • 3M ID 7010609390
  • UPC 04549395041817

UV硬化型液体接着剤を使用してウェーハを支持基板にマウントするため凹凸吸収性に優れ、極薄研削が可能。

TTV 5µm以下の高精度のマウントをボイドレスで実現。高温プロセス(250℃)や、酸、アルカリ等の各種薬液を使用したプロセスにも対応可能。

剥離はレーザートリガーによる完全ドライプロセス。

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詳細

特長
  • UV硬化型液体接着剤を使用してウェーハを支持基板にマウントするため凹凸吸収性に優れ、極薄研削が可能。
  • TTV 5µm以下の高精度のマウントをボイドレスで実現。高温プロセス(250℃)や、酸、アルカリ等の各種薬液を使用したプロセスにも対応可能。
  • 剥離はレーザートリガーによる完全ドライプロセス。

3次元実装、パワー半導体、MEMS等の極薄裏面研削などの工程で、3M独自の接着・剥離技術によりデバイスウェーハを支持します。

仕様

参考資料

関連製品

ブランド 3M™
ポリマータイプ 熱可塑性樹脂
用途 Light-to-heat
重量 18 kg