薬液中の金属イオンを
50ppt以下レベル※1まで低減。
金属除去の最先端デプスフィルター
3M™ 金属イオン除去フィルター MIPシリーズ
薬液中の金属イオンを
50ppt以下レベル※1まで低減。
金属除去の最先端デプスフィルター
3M™ 金属イオン除去フィルター MIPシリーズ
3M™ Metal Ion Purifier（略称：MIP）は、昨今の電子業界でのより厳しい金属低減要求に貢献するために開発をいたしました。3M特殊粉体成形テクノロジーを用いて強酸性陽イオン交換樹脂、またはキレート樹脂と、ポリエチレン支持体を強固なブロック状のろ材にしたデプスフィルターカートリッジです。薬液中の金属イオンを50ppt以下レベル※1まで低減し、リソグラフィプロセスで使用されるPGMEA溶剤や、BARCなどの高純度ポリマー溶液、ホルマリン、メタノール、フェノール樹脂などからワンパスでも効果的に金属イオンを低減します。
また、少量での処理も可能なため、薬液の再生、回収用途にもご使用いただけます。
※1. 社内評価による：金属除去性能項目参照
3Mの金属イオン除去
フィルターソリューション
3Mの金属イオン除去
フィルターソリューション
スマートフォンなどの電子機器、インターネット通信、自動車などを代表とする社会インフラなど、半導体は私達の身の回りのあらゆるものに使われており、生活は半導体によって支えられています。
半導体は近年世界的な需要の拡大が続き、市場は飛躍的に成長しています。
それに伴いより高性能なものに進化を遂げています。
高性能な半導体を製造するためにはより金属が低減された高純度な半導体用薬品が求められます。
3Mは独自技術を駆使したフィルターで貢献します。
| 分析金属 | 定量限界 | 調整原液 | SCP | APP |
| 700ml/min | 700ml/min | |||
| Li | 10 | 934 | <10 | <10 |
| Na | 100 | 1082 | <100 | <100 |
| Al | 10 | 681 | <10 | <10 |
| K | 40 | 2481 | <40 | <40 |
| Ca | 10 | 950 | 20 | <10 |
| Cr | 10 | 640 | <10 | <10 |
| Fe | 20 | 1696 | <20 | <20 |
| Co | 10 | 965 | <10 | <10 |
| Ni | 10 | 725 | <10 | <10 |
| Cu | 10 | 1250 | <10 | <10 |
| Zn | 20 | 1836 | 44 | 32 |
| Pb | 10 | 884 | <10 | 10 |
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【社内試験】
自社評価 金属イオン添加 PGMEAろ過試験（弊社技術報告書SCEA18-019抜粋）
・ サンプル溶液：各金属約1ppb 添加したPGMEA
・ フィルター： APPD、SCPD 2インチカートリッジ
・ 金属イオン濃度分析：Agilent 8900
・ ろ過試験イメージ（流量700ml/min, 500ml後サンプリング） -
MIPシリーズの特長
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高い金属除去性能ろ材がデプス構造（厚みのある構造）のため溶液とろ材との長い接触時間を実現。メンブレンタイプのイオン交換膜フィルターと比較し数倍のイオン交換容量を持つため、安定した金属除去性能を発揮します。
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金属溶出が少ない独自の製造方法によりイオン交換樹脂と比較して金属溶出を低減※2。前処理時間の短縮と作業の簡易化を実現します。
※2. 社内評価による：金属溶出について項目参照
ろ材ラインナップ
多くの溶液に対応できるように２種類のタイプをラインナップいたしました。
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強酸性陽イオン交換樹脂Na, Ca, Kなどのアルカリ金属、またはアルカリ土類金属を捕捉し易い傾向があります。
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キレート樹脂キレート効果によってFe, Cr, Znなどの重金属を捕捉し易い傾向があります。
| 項 目 | SCP | APP |
| バインダー樹脂 | 超高分子量ポリエチレン | |
| 樹脂パーツ | 高密度ポリエチレン | |
| O リング | FEP 被覆フッ素ゴム | |
| 樹脂 | 強酸性陽イオン交換樹脂 | キレート樹脂 |
| 最高使用温度 | 60℃ | |
| 最大許容差圧 | 0.28MPa | |
| 推奨流量（粘度 1cP の時） | 3.5 L/min | |
| イオン交換容量（推奨流量時 90% 効率）* | 450meq | 460meq |
| サイズ | タイプ | 品番 | 仕様 |
| 47mm ディスク | SCP | MIR-DA47-SCPD | 47mm ディスク |
| 47mm ディスク | APP | MIR-DA47-APPD | 47mm ディスク |
| 2 インチカートリッジ | SCP | MIRE-0020FK-SCPD | 2 インチ222 コネクター（フィン無し），FEP 被覆フッ素ゴムO-ring |
| 2 インチカートリッジ | APP | MIRE-0020FK-APPD | 2 インチ222 コネクター（フィン無し），FEP 被覆フッ素ゴムO-ring |
| 10 インチカートリッジ | SCP | MIRE-0100FK-SCPD | 10 インチ222 コネクター（フィン無し），FEP 被覆フッ素ゴムO-ring |
| 10 インチカートリッジ | APP | MIRE-0100FK-APPD | 10 インチ222 コネクター（フィン無し），FEP 被覆フッ素ゴムO-ring |
| 20 インチカートリッジ（新製品） | SCP | MIRE-0200HK-SCPD | 20 インチ222 コネクター（フィン）FEP 被覆フッ素ゴムO-ring |
| 20 インチカートリッジ（新製品） | APP | MIRE-0200HK-APPD | 20 インチ222 コネクター（フィン）FEP 被覆フッ素ゴムO-ring |
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10" SCPD -
10" APPD
| 3M™ 金属イオン 除去フィルター MIPシリーズ |
3M™ Zeta Plus™ 吸着デプスフィルタ ーカートリッジ ECシリーズ |
3M™ Zeta Plus™ 活性炭吸着 デプスフィルターカートリッジ Sシリーズ |
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| 代表的な用途 | フォトレジスト原料、溶剤、 水溶系材料の金属イオン除去 |
フォトレジスト原料、溶剤、 水溶系材料の金属イオン除去 |
フォトレジスト原料、 溶剤などからの金属除去、 脱色、有機物除去 |
| ターゲットの 金属除去レベル |
ppb - ppt レベル* | ppm - ppb レベル* | ppm - ppb レベル* |
| 製品構成 | ポリエチレン/IX樹脂 | セルロース/ケイソウ土/(IX樹脂） | セルロース/活性炭 |
| 形状ラインナップ | カートリッジ | ディスク | ディスク |
| 特長/強み | 3M特殊粉体成形テクノロジーを用いて強酸性陽イオン交換樹脂、またはキレート樹脂と、ポリエチレン支持体を強固なブロック状のろ材にしたデプスフィルターカートリッジ。 厚みのある構造のため一般的なメンブレンタイプの同様のフィルターとくらべ高い金属除去性能を有す |
ゼータ電位と多孔質体によりコロイドやゲル状物質を吸着除去。 40Qグレードに関してはイオン交換能力も付加 |
ゼータ電位と多孔質体による吸着ろ過に加え、活性炭による吸着除去機能を付与 |
| 効果を得やすい金属 |
■SCPタイプ ■APPタイプ |
微量金属Na,Fe,Cr Al,微量コロイド | 触媒に使用されるPd,Ptや Ni,Cu,Znなどの重金属 |
| ■SCPタイプの製品詳細はこちら ■APPタイプの製品詳細はこちら |
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