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高精細表面テクノロジー(Mr)に加え、3Mの基盤技術を駆使したパッドコンディショナーです。
CMP工程におけるバラつきを最小化する
マイクロスクラッチの解消
3M独自の高精細表面テクノロジーなどの技術を応用した、アドバンスノード向けパッドコンディショナーです。
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