3M™ トライザクト™ パッドコンディショナ―

3M™ Trizact™ CMPパッドコンディショナーは、正確な形状の3次元研磨構造を持ち、一貫性が要求される作業に最適なパッドです。セラミック構造体は、ミクロン単位のダイヤモンドでコーティングされています。3Mのコア技術であるマイクロレプリケーション（先端ノード半導体製造に適用）により、これらの構造はTrizact™ CMPパッドコンディショナーの表面全体に均一に再現されます。さらに、チップの形状、高さの分散、パターンなど、用途に合わせて幅広く選択できます。その結果、極めて安定した性能が長期間持続し、CMPパッドの寿命が延び、パッドの仕上がりや摩耗が常に予測できるようになります。