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3M™ トライザクト™ パッドコンディショナ―

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高精細表面テクノロジー(Mr)に加え、3Mの基盤技術を駆使したパッドコンディショナーです。

CMP工程におけるバラつきを最小化する

マイクロスクラッチの解消

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仕様

詳細

特長
  • 高精細表面テクノロジー(Mr)に加え、3Mの基盤技術を駆使したパッドコンディショナーです。
  • CMP工程におけるバラつきを最小化する
  • マイクロスクラッチの解消
  • CMP工程のCoC低減を実現する
  • メタルコンタミネーションフリー
  • 世界の大手半導体顧客での販売実績に基づく信頼性。

3M独自の高精細表面テクノロジーなどの技術を応用した、アドバンスノード向けパッドコンディショナーです。