3M™ トライザクト™ パッドコンディショナ―

特長

• 高精細表面テクノロジー（Mr)に加え、3Mの基盤技術を駆使したパッドコンディショナーです。
• CMP工程におけるバラつきを最小化する
• マイクロスクラッチの解消
• CMP工程のCoC低減を実現する
• メタルコンタミネーションフリー
• 世界の大手半導体顧客での販売実績に基づく信頼性。