半導体
３Ｍ半導体製造プロセス向けソリューション
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３Ｍ™トライザクト™ CMPパッド
３Ｍ™トライザクト™ CMPパッドは新しいコンセプトの製品であり、CMPプロセスにより安定したパフォーマンスを提供します。当社のCMPパッドは、成形、表面改質、マイクロレプリケーションのノウハウをもとに開発された製品で、CMPプロセスに革新をもたらす製品です。
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CMPパッドコンディショナー
緻密に設計された３Ｍパッドコンディショナーは、半導体CMPプロセスに安定したパフォーマンスを提供します。保守点検シャットダウンの回数を減らすとともに、パッドとディスクの寿命を延ばすことにも寄与します。