3M半導体製造プロセス向けソリューション

  • 3M™トライザクト™ CMPパッド

    3M™トライザクト™ CMPパッドは新しいコンセプトの製品であり、CMPプロセスにより安定したパフォーマンスを提供します。当社のCMPパッドは、成形、表面改質、マイクロレプリケーションのノウハウをもとに開発された製品で、CMPプロセスに革新をもたらす製品です。

  • CMPパッドコンディショナー

    緻密に設計された3Mパッドコンディショナーは、半導体CMPプロセスに安定したパフォーマンスを提供します。保守点検シャットダウンの回数を減らすとともに、パッドとディスクの寿命を延ばすことにも寄与します。

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