半導体
3M半導体製造工程向けソリューション
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3M™トライザクト™ CMPパッド
3M™トライザクト™ CMPパッドは新しいコンセプトの製品であり、CMP工程により安定したパフォーマンスを提供します。当社のCMPパッドは、成形、表面改質、マイクロレプリケーションのノウハウをもとに開発された製品で、CMPプロセスに革新をもたらす製品です
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CMPパッドコンディショナー
緻密に設計された3Mパッドコンディショナーは、半導体CMP工程に安定したパフォーマンスを提供します。保守点検シャットダウンの回数を減らすとともに、パッドとディスクの寿命を延ばすことにも寄与します。
