3M半導体製造工程向けソリューション

  • 3M™トライザクト™ CMPパッド

    3M™トライザクト™ CMPパッドは新しいコンセプトの製品であり、CMP工程により安定したパフォーマンスを提供します。当社のCMPパッドは、成形、表面改質、マイクロレプリケーションのノウハウをもとに開発された製品で、CMPプロセスに革新をもたらす製品です

  • CMPパッドコンディショナー

    緻密に設計された3Mパッドコンディショナーは、半導体CMP工程に安定したパフォーマンスを提供します。保守点検シャットダウンの回数を減らすとともに、パッドとディスクの寿命を延ばすことにも寄与します。